石英样品等离子体清洗表面处理测试报告

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摘要:石英样品等离子体清洗处理测试报告【试验产品信息】送样日期样品种类样品名称材质2019.06.263石英石英客户单位上工序下工序联系方式□清洗■活化□除胶□刻蚀□其它处理要求说明：提高石英材料表面能，去除表面残留物。【测试过程信息】测试日期试验设备型号摆放方式检测指标2019.06.27射频真空等离子机100L横放水滴角试验目的通过等离子体处理提高材料表面能，增强粘接能力。（1）样品水平置于托盘上，托盘水平放置于等离子机腔体中的两电极板间（2）抽真空后通入气体进行等离子体发光处理。测试步骤测试条件功率(w)真空度（Pa）气体气体流量（ml/min）处理时间(s)*****备注：批量处理【试验结果及分析】测试指标试验结果水滴角（°）样品编号1#泰美克2#石英光电3#石英光电处理前水滴角（°）666262处理后水滴角（°）321820分析：经过等离子体处理后，样品水滴角明显降低，表面洁净度提高工艺评价结论及建议□合格□不合格■待客户确认处理效果后再进行相应改善，调整工艺流程。经过等离子活化处理后，样品表面的水滴角明显下降，表明其表面能提高，表面粘接能力增强。但是可能由于显微镜条件限制，未能观察到样品表面残留物。泰美克样品处理效果相对较差，石英光电样品处理效果相对较好。【试验结果附图】1处理前水滴角处理后水滴角1#泰美克2#石英光电测试员：联系电话：2

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