实验室真空单靶射频磁控溅射镀膜仪

专业资料 > 自然科学 > 物理 > 文档预览

1 页 1175 浏览 7 收藏 4.7分

摘要:单靶射频磁控镀膜仪CY-MSP300S-RF实验室专用镀膜仪，磁控溅射相较于普通的等离子溅射拥有能量高速度快的优点，镀膜速率高，样品温升低，是典型的高速低温溅射。磁控靶配有水冷夹层，水冷机能够有效的带走热量，避免热量在靶面聚集，使磁控镀膜能长时间稳定工作。紧凑化设计，实现了体积与性能的平衡，造型美观功能全面。整机均采用触控屏控制，内置一键式镀膜程序，操作简单易上手，实验室制备薄膜的理想设备。选配直流电源和射频电源，功率从500W-1000W不等，可用于制备单层或多层铁电薄膜、导电薄膜、合金薄膜、半导体薄膜、陶瓷薄膜、介质薄膜、光学薄膜等。单靶射频磁控溅射镀膜仪供电电压整机功率极限真空度尺寸加热温度载样台参数控温精度转速数量磁控溅射头参冷却方式数水冷机规格腔体尺寸腔体材料真空腔体观察窗口开启方式气体流量控制器真空泵膜厚仪溅射电源操作方式整机尺寸整机重量AC220V，50Hz6KW5x10-4Paφ150mm最高500℃±1℃1-20rpm可调1个，2”磁控溅射头水冷，所需流速10L/min10L/min流速的循环水冷机φ300mmX340mmH不锈钢φ100mm上顶开式，便于更换靶材1路200sccmAr；配有一套分子泵系统，抽速600L/S石英振动薄膜测厚仪一台，分辨率0.10Å射频电源，500W-1000W，适用于制备非金属膜一体机电脑操作1090mmX900mmX1250mm350kg

温馨提示：当前文档最多只能预览 5 页，若文档总页数超出了 5 页，请下载原文档以浏览全部内容。

本文档由匿名用户于 2021-04-16 01:10:24上传分享

下载原文档(15.20 KB)

你可能在找

实验室真空双靶直流射频磁控溅射镀膜仪

双靶直流射频磁控镀膜仪CY-MSP300S-DCRF实验室专用镀膜仪，磁控溅射相较于普通的等离子溅射拥有能量高速度快的优点，镀膜速率高，样品温升低，是典型的高速低温溅射。磁控靶配有水冷夹层，水冷机能够有效的带走热量，避免热量在靶面聚集，使磁控镀膜能长时间稳定工作。紧凑化设计，实现了体积与性能的平衡，造型美观功能全面。整机均采用触控屏控制，内置一键式镀膜程序，操作简单易上手，实验室制备薄膜的理想设备。

5.0 分 1 页 | 15.20 KB | 2021-04-16 01:14
实验室真空单靶直流磁控溅射镀膜仪

单靶直流磁控镀膜仪CY-MSP300S-DC实验室专用镀膜仪，磁控溅射相较于普通的等离子溅射拥有能量高速度快的优点，镀膜速率高，样品温升低，是典型的高速低温溅射。磁控靶配有水冷夹层，水冷机能够有效的带走热量，避免热量在靶面聚集，使磁控镀膜能长时间稳定工作。紧凑化设计，实现了体积与性能的平衡，造型美观功能全面。整机均采用触控屏控制，内置一键式镀膜程序，操作简单易上手，实验室制备薄膜的理想设备。

5.0 分 2 页 | 15.31 KB | 2021-02-20 02:02
实验室真空双靶直流磁控溅射镀膜仪

双靶直流磁控镀膜仪CY-MSP300S-2DC实验室专用镀膜仪，磁控溅射相较于普通的等离子溅射拥有能量高速度快的优点，镀膜速率高，样品温升低，是典型的高速低温溅射。磁控靶配有水冷夹层，水冷机能够有效的带走热量，避免热量在靶面聚集，使磁控镀膜能长时间稳定工作。紧凑化设计，实现了体积与性能的平衡，造型美观功能全面。整机均采用触控屏控制，内置一键式镀膜程序，操作简单易上手，实验室制备薄膜的理想设备。

4.6 分 2 页 | 15.23 KB | 2021-02-20 02:02
实验室多弧离子镀膜仪-硬质薄膜

多弧离子镀膜仪CY-MIOP500S-2TA离子镀把辉光放电现象、等离子体技术和真空蒸发三者有机结合起来，不仅能明显地改进了膜质量，而且还扩大了薄膜的应用范围。其具有蒸镀速率快，薄膜附着力强，绕射性好，膜材广泛等优点。十分适合镀硬质保护膜如TiN等。同时由于其通过控制气氛可以改变膜层颜色，且膜层与基板结合牢固，故也可用于制作多种颜色的装饰性膜。多弧离子镀是利用气体放电或被蒸发物质部分离化，在气体离子或被蒸发物质粒子轰击作用的同时，将蒸发物或反应物沉积在基片上。本设备配有两个多弧靶，分置于腔体两侧。

4.8 分 2 页 | 105.93 KB | 2021-02-02 10:18
防辐射眼镜有用吗？眼镜品牌有哪些？

www.aliyj.com防辐射眼镜有用吗？眼镜品牌有哪些？随着现在日常生活频繁的使用电子设备，人们对电子产品在使用过程中所产生的辐射越来越关注。防辐射眼镜是一种镜片中含有某些化合物介质的防辐射膜的眼镜，其工作原理是利用不同波长的电磁波互相干扰以达到防辐射目的眼镜。主要应用于被电脑、手机、复印件、X光等屏幕散发出的辐射所受伤的眼睛上，顾名思义，就是能防止激光对眼睛的辐射。二、防辐射眼镜真的管用吗？

4.9 分 2 页 | 422.40 KB | 2021-02-06 12:54
高三物理光学、原子物理练习

①牛顿：微粒说；②惠更斯：波动说；③麦克斯韦：电磁说；④爱因斯坦：光子说；1、光学现象：（1）光的直线传播，光的反射现象；（2）光的干涉、衍射现象；（3）光电效应现象；2、杨氏双缝干涉实验：相干光源(频率相同薄膜干涉：3、光的衍射：光绕过障碍物（或孔隙）而偏离直线传播的现象。要观察到明显的光的衍射现象，障碍物（或孔隙）的尺寸必须比光波的波长小或与它差不多。（1）单缝衍射：中央亮纹较宽，其两侧亮纹的亮度明显递减。（2）圆孔衍射：明暗相间的同心圆环。（3）小圆盘衍射：“泊松亮斑”。4、电磁波谱：麦克斯韦提出光的电磁说，后经赫兹实验证实。

4.9 分 11 页 | 236.22 KB | 2022-09-16 00:01
镀膜玻璃是什么-镀膜玻璃价格

贵阳装修http://gy.oceano.com.cn/镀膜玻璃是什么镀膜玻璃价格随着建筑、汽车、装饰装修、信息产业技术等行业的发展和人们对生活空间环境要求的提高，镀膜玻璃作为一种功能性加工产品得到广泛应用镀膜玻璃是什么镀膜玻璃也称反射玻璃，是一种表面涂镀薄膜的玻璃，可镀一层或多层薄膜，镀膜可为金属、贵阳装修http://gy.oceano.com.cn/合金或金属化合物。镀膜可以改变玻璃的光学性能，满足某种特定要求。镀膜玻璃根据产品的不同特性，一般可以分为导电膜玻璃、低辐射玻璃、热反射玻璃等几类。

4.8 分 3 页 | 209.00 KB | 2021-03-17 15:23
夏季装修的隔热方法有哪些？

1、镀膜玻璃镀膜玻璃是指在普通玻璃的表面镀上了金属层或者化合物层，使玻璃具有各种不同的颜色。镀膜玻璃可以反射太阳的辐射，其阻挡阳光的能力较强，但是但是与普通玻璃相同，镀膜玻璃的保温性能较差，所以在阻隔紫外线的同时，无法很好的阻挡外界热量的进入。 2、中空玻璃中空玻璃是由塑钢框架夹多层玻璃平板构成，大多时候在玻璃的空隙中会充入惰性气体，大大的降低了玻璃的导热能力，故中空玻璃往往具有很强的保温性，但另一方面，由于中空玻璃的保温性强，在外界热量难以进入时室内热量也难以挥发

4.7 分 16 页 | 79.62 KB | 2021-09-11 01:52
铝氧化膜测厚仪

OU3500铝氧化膜测厚仪使用说明书基本概述铝氧化膜测厚仪又叫铝氧化膜测厚仪价格、铝氧化膜测厚仪厂家、阳极氧化膜测厚仪、阴极氧化膜测厚仪、铝氧化膜检测仪、铝氧化膜测试仪、磁阻法涂层测厚仪、磁阻法镀层测厚仪、磁阻法测厚仪价格、磁阻法测厚仪厂家、磁性测厚仪、磁阻法测厚仪、磁式测厚仪、磁感应测厚仪、磁性覆层测厚仪、磁性镀层测厚仪、磁性涂层测厚仪价格、油漆镀层测厚仪、油漆覆层测厚仪、油漆涂层测厚仪厂家、油漆涂层测厚仪价格、油漆涂层测试仪、油漆涂层检测仪、电泳镀层测厚仪、电泳漆覆层测厚仪、电泳漆漆膜测厚仪、电泳漆厚度测试仪、涂镀层测量仪、电镀层测试仪、防腐层检测仪、涂镀层测试仪、涂镀层测量仪、油漆测厚仪价格、油漆层测厚仪

4.8 分 29 页 | 1.61 MB | 2021-03-04 11:57
镀金层测厚仪

OU3500镀金层测厚仪使用说明书基本概述涂层测厚仪又叫电镀涂层测厚仪、涂层厚度测试仪、便携式涂层测厚仪、高精度涂层测厚仪、涂层检测仪、涂层厚度测试仪、涂层测厚仪价格、涂层测厚仪厂家、磷化膜检测仪、磷化膜测试仪、磁阻法磷化膜测厚仪、磁阻法镀层测厚仪、磁性磷化膜测厚仪、磁阻法测厚仪、磁式测厚仪、磁感应测厚仪、磁性覆层测厚仪、磁性镀层测厚仪、磁性涂层测厚仪价格、油漆镀层测厚仪、油漆覆层测厚仪、油漆涂层测厚仪厂家、油漆涂层测厚仪价格、油漆涂层测试仪、油漆涂层检测仪、电泳镀层测厚仪、电泳漆覆层测厚仪、电泳漆漆膜测厚仪、电泳漆厚度测试仪、涂镀层测量仪、电镀层测试仪、防腐层检测仪、涂镀层测试仪、涂镀层测量仪、油漆测厚仪价格

4.8 分 29 页 | 1.41 MB | 2021-10-28 02:39