ECVD操作手册p

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摘要:操作手册LPS1等离子体发射源生产商：Roth&RauAGGewerbering3D-09337Hohenstein-ErnstthalOTWuestenbrandGermany目录123安全指示……………………………………………………………………………………………3介绍1.2安全标志描述………………………………………………………………………………………3…………………………………………………………………………………………………42.1概要2.2线型微波等离子体发射源类型……………………………………………………………52.3线型微波等离子体的产生………………………………………………………………………6技术数据……………………………………………………………………………………………4……………………………………………………………………………………………93.1概要……………………………………………………………………………………………93.2性能……………………………………………………………………………………………103.3电气数据3.4连接………………………………………………………………………………………10……………………………………………………………………………………………103.4.1气体连接…………………………………………………………………………………103.4.2水路连接…………………………………………………………………………………10…………………………………………………………………………………………………11组装5设备维护731.146………

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