石英坩埚检验标准
摘要:1目的为加强生产过程中对石英坩埚的检验，特制订此标准。2范围本文件规定了对石英坩埚的检验方法、检验标准等。本标准适用于生产、技术、质管人员对石英坩埚使用前的检验。3设备、工模具、材料石英坩埚、卷尺、无水乙醇、乳胶手套、口罩等。4内容检验方式4.1全检，即对所有将使用的石英坩埚进行检验。检验方法及要求4.24.2.1外包装a)包装箱为方形纸箱，完好无破损，没有被浸泡过；b)b)防震标示未出现红色；c)包装箱内防震泡沫的摆放要能够很好的保护石英坩埚。防震泡沫要完好无破损，且没有被移动过；d)石英坩埚应密封在塑料袋里，塑料袋要完全密封无破损。4.2.2形状观察坩埚形状，石英坩埚的形状应符合图1的规定4.2.3规格尺寸及偏差用卷尺等测量D、I、H等尺寸，每个数据测量次数不少于3。规格尺寸及偏差应符合坩埚自身附属文件中的相关数据。编制：发送部门份数校对：审核：标准化：批准： 图1石英坩埚的形状4.2.4外观a)石英坩埚内外表面应清洁，无沾污；b)坩埚内外不允许有裂纹。用毛刷蘸些无水乙醇，均匀涂在坩埚内表面，内表面应当无大于2mm的裂纹；轻击坩埚检查隐含裂纹，有裂纹的坩埚声音听起来会有所不同。也可借助高亮强光进行检查；c)坩埚口端部不允许有切割毛刺、崩边，口端部内倒角应≥2mm；d)坩埚底部不允许有划伤、触痕；e)不允许有无光泽的凹坑，底部连接弧度处不允许有凹坑；f)有凹坑，但很光滑能满足壁厚要求，直径小于5mm，不允许超过2个；g)在坩埚壁厚中用肉眼能够判断的Ф0.5mm～1.5mm杂质点的数量（个数）应不大于2；h)直径Ф1mm～3mm附着物的数量（个数）应不大
温馨提示：当前文档最多只能预览
5 页，若文档总页数超出了
5 页，请下载原文档以浏览全部内容。
本文档由 匿名用户 于 2022-09-23 23:42:51上传分享
