低温等离子体

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摘要:文章一定义低温等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态，当外加电压达到气体的着火电压时，气体分子被击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。放电过程中虽然电子温度很高，但重粒子温度很低，整个体系呈现低温状态，所以称为低温等离子体。低温等离子体降解污染物是利用这些高能电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在极短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到降解污染物的同的。低温等离子态半导体研究及利用低温等离子态是指常温下气体被激发为等离子稳定状态。该状态下电子温度远远高于质子，电子迁移率达到1000-10000米/秒。电子浓度1015个/立方厘米。因此可以近似地认为低温等离子态等效N型半导体。低温等离子态等效N型半导体性能：1需要被激发。2电子浓度较低，且可调。3电子迁移率极高。4透明。5纯度高。6电子逸出功基本为零。7没有自边界，不存在浓度梯度。低温等离子体又称非平衡态等离子体，通常由微波放电，介质阻挡放电，电晕放电，辉光放电等产生。在低温等离字体中重粒子温度接近室温，而电子温度高达10000K以上，远离热平衡状态由于等离子态只有N型半导体形式，单独的N型半导体基本没有应用的价值。因此低温等离子态半导体必须与P型固体半导体结合形成P-N结。为了防止气体与接触体发生化学反应，最好选择惰性气体。文章二等离子体物理理论《等离子体物理理论》是中国科学技术大学等离子体物理专业本科生的专业基础课，授课对象是已经选修过《等离子体物理导论》的高年级本科生。作为专业基础课，《等离子体物理理论》的讲授内容自然应该比《等离子体物理导论》更深

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