利用LIGA技术研制超微步进电机

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摘要:No.1Big-bit微电机世界网http://emotor.bigbit.com/news/193831.html利用LIGA技术研制超微步进电机【大比特导读】设计分析利用技术研制超微步进电机，该电机的转子和定子由LIGA技术制造完成，线圈由手工在显微镜下绕制完成，转子直径2mm，整个电机直径5mm.设计分析利用技术研制超微步进电机，伊福廷，彭良强，张菊芳，韩勇(中国科学院高能物理研究所，北京100039)计、加工方法以及该电机的扫描电镜照片等。该电机的转子和定子由LIGA技术制造完成，线圈由手工在显微镜下绕制完成，转子直径2mm，整个电机直径5mm.技术1简介超微电机是微机械系统中重要的执行元件之一，可实现转动和平行运动。微电机有静电式、电磁式等多种结构形式，国内有清华大学、上海交通大学进行了微电机的制造，并已取得了很好的研究结果。微加工技术有很多加工手段，有硅技术、LIGA技术、SU8技术、电火花加工、电解加工、激光加工、传统的车铣等多种方法。清华大学和上海交通大学就是主要利用硅加工技术完成了微电机的制造。LIGA技术是80年代末发展起来的微加工技(电铸)，Abformung(塑铸)三个字的字头缩写，包括光刻、电铸和塑铸三个主要工艺环节，其结构深度可以达到毫米或厘米。LIGA工艺中首先是同步辐射光刻，光刻胶经过曝光显影后得到一光刻胶的胶模，也是深度微结构最为原始的结构然后利用电铸工艺，将这一胶模转换成塑铸所用的金属模具最后利用金属模具进行大批量生产塑料结构产品，或大批量复制再电铸所需要的非金属模，再利用电铸工艺将复制出的塑料模大批量转换成金属结构产

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